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空氣過濾器在微電子工業中的應用

日期:2021-10-14 14:05
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摘要:
空氣過濾器在微電子工業中的應用

 電腦中每天鉆進無數灰塵,只可惜電腦沒有裝過濾器,如果以后電腦中也裝上過濾除塵器就好了。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響壽力空壓機配件產品的成品率。當今,半導體工業(芯片廠)對生產環境空氣潔凈程度高挑剔,對空氣過濾器的要求也*苛刻。

  衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”,即電路上導線的寬度。在以微米計算線寬的年代,人們說制造環境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,此時任何粉塵都可能損害電路,粒徑與線寬的傳統比較已經過時了。
 
  芯片廠傳統的通風形式是“大循環”,車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。現在芯片廠有些車間使用自帶風機的過濾裝置,即FFU。大循環和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度,只是在運行管理和能耗上有所差異。 
不論是普通高效過濾器還是FFU,出廠前都要經過逐臺掃描測試。國內目前沒有掃描測試方法標準,能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為,過濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。  
       
       空氣中的海鹽粒子是所有電子工業的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業的理想地點應該遠離海岸,可沿海地區經濟發達,芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區,在過濾器上多花點錢就是了。
  20世紀90年代初,國外曾對高效過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣,隨后,過濾器的微量揮發元素成了芯片廠關注的事情。近幾年,國外出現了聚四氟乙烯纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發物,但它是帶靜電的“駐極體”,少了個隱患,多了個麻煩,過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價格偏高,大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過濾器上可能的微量揮發元素主要來源于粘結劑和清洗劑,為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。

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