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作好后勤,保證無塵室的正常工作環境

日期:2021-10-17 19:53
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作好后勤,保證無塵室的正常工作環境

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半導體和液晶制造廠對內部的溫度、濕度和潔凈度等有著及其特殊的要求,廠務工程部作為制造廠后勤單位,承擔了對無塵室的水電氣全年24小時正常運行的責任。“廠務是生產線生產設備的源頭,任何一套系統出現問題,都會直接影響到生產,所以我們廠務工作不能有一點兒中斷和故障。”
  無塵室要求溫度在23℃±0.5℃,濕度為45%±2.5%,生產區為0.1級,維修區為1000級。為了防止和減少污染物的進入,需要無塵室保持20Pa的正壓,和艦廠務工程部一位經理介紹說。TFT-LCD后段組裝廠對工作環境的要求雖然沒有半導體和TFT前段高,但也需要無塵室設計。友達公司潔凈度為1萬到10萬級,溫度為22℃±2℃,濕度為60%±7%。
  為了保證這一環境,無塵室通常采用MAU+FFU的設計,即作為主送風的MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的風送到無塵室的天花板,由于風力已有減弱,再搭配小型的FFU再次送風,從而達到無塵室的溫濕度和正壓等要求。
  維持無塵環境需要用到特殊的多層過濾網、密閉式馬達和空調箱等,其中被兩位采訪者統一稱為“主要源  
頭”的是冷水機組。因為不論無塵室還是辦公室空調系統都要用到冰水(冷凍水),它是維持溫濕度的*為關鍵的元素
  “當初選擇冷水機組時經過了慎重地考慮。除了設備的性能和可靠性,還要考慮設備的運轉費用和節能效果。再好的設備也會壞,因此售后服務是建廠時評估的一項重點。”半導體制造廠建成后通常需要使用10年以上,象冷水機組這樣的大負載設備,夏天大約占整體耗電的20%。在這種情況下,節能和高效的設計就成為了用戶需要重點考慮的問題。
  “因為任何廠務設備出了問題都有可能影響生產的情況,所以在選購設備時不會僅考慮價格因素,還會考慮設備品質。為了保證24小時正常運轉,還需要設置備機,除非備機和主機同時壞掉,否則不會出現大問題。另外印象*深的是要與所有供應商保持良好的關系,在發生緊急狀態時,供應商能夠迅速趕到現場。”
  在設備的保養和問題的預防方面,“廠商是專才,必須與廠商建立良好的溝通途徑,保證大問題沒有,小問題不影響生產。”網絡時代,一些關鍵設備廠商已經利用了網絡,實現對設備的24小時遠程監控,與制造商一起將問題消滅在萌芽狀態。


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