新聞詳情

無塵室凈化工程中室內溫濕度控制

日期:2021-10-14 10:08
瀏覽次數:630
摘要:
   無塵室凈化工程中潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
  具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
  此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以**。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產*佳濕度范圍為35—45%。


尊敬的客戶:
  您好,我司致力為廣大用戶提供高品質產品、完整的解決方案和上等的技術服務。主要有不銹鋼器械柜,潔凈室裝修,無塵室凈化工程等等的產品和服務。您可以通過網頁撥打本公司的服務專線了解更多產品的詳細信息,至善至美的服務是我們永無止境的追求,歡迎新老客戶放心選購自己心儀產品,我們將竭誠為您服務!

暖暖日本 高清 在线观看-24小时日本高清在线www-日本一本之道高清不卡免费