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凈化工程分類

日期:2021-10-17 20:14
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摘要:
  亂流式 (Turbulent Flow)
  空氣由空調箱經風管與清理室內之空氣過濾器(HEPA) 進入清理室,并由清理室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于清理室等級1,000-100,000級。優點:構造簡單、系統建造成本低,清理室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵運作臺,提高清理室等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之清理度,往往須耗時相當長一段時間。
  層流式(Laminar)
  層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于清理室等級需定較高的環境使用,一般其清理室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
  (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 www.wjdinghao.cn 凈化工程
  優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
  (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之清理度,在制程中或運作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它運作區域。
  優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。 亂流式缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。復合式(Mixed Type):復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超清理之空氣。
  (1)清理隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或運作區域100%覆蓋使清理度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之運作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響運作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。清理隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。
  (2)清理管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將清理度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之清理度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為*適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
  (3)并裝局部清理室(Clean Spot):將清理室等級10,000~100,000之亂流清理室內之產品制程區的清理度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;清理運作臺、清理運作棚、清理風柜即屬此類。
  局部清理工程清理運作臺:等級Class 1~100級。
  清理運作棚:為在亂流式之清理室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較上等之清理空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。

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